1000T/Y lämmastiktrifluoriidi projekt (gaasi eripuhtus 99,996%)

年产1000吨三氟化氮项⽬(特⽓⾏业纯度99,996%)

 

三氟化氮(Lämmastik Trifluoriid),化学式NF3,是⼀种强氧化剂。作为⼀种重要的⼯业特种⽓体,具有⼴泛的应⽤领域.
在微电⼦⼯业中,三氟化氮是⼀种优良的等离⼦蚀刻⽓体,在半导体芯⚽显⽰器、光纤、光伏电池等制造领域,三氟化氮主要⽤作等离⼦蚀刻⽓䏍清洗剂。它还可以⽤于⾼能化学激光器,通过与氢反应在瞬间放出⼤量烞楝量烞应⽤。三氟化氮还可⽤作⾼能燃料,并且在⽕箭发射中作为㰧化剂和推佀进

1733284858610

Lämmastiktrifluoriid, keemiline valem NF3, on tugev oksüdeeriv aine. Olulise tööstusliku erigaasina on sellel lai valik rakendusi.
Mikroelektroonikatööstuses on lämmastiktrifluoriid suurepärane plasmasöövitusgaas; Pooljuhtkiibis, lameekraanil, optilises kius, fotogalvaanilistes elementides ja muudes tootmisvaldkondades kasutatakse lämmastiktrifluoriidi peamiselt plasmasöövitusgaasina ja reaktsiooniõõnte puhastusainena.
Seda saab kasutada ka suure energiatarbega keemilistes laserites, et saavutada selle rakendus, reageerides vesinikuga, eraldades hetkega suure hulga soojust. Lämmastiktrifluoriidi kasutatakse ka suure energiatarbega kütusena ning rakettide väljalaskmisel oksüdeerijana ja raketikütusena.


Postitusaeg: detsember 04-2024